洁净空间的压力要高于非洁净空间的压力。洁净度级别高的空间的压力要高于相邻的洁净度级别低的空间的压力。相通洁净室之间的门要开向洁净度级别高的房间地面可采用环氧自流坪地坪或耐磨塑料地板,有防静电要求的,要选用防静电型。送回风管道一般用镀锌钢板,不宜选用玻璃棉类材料保温。照明应选用净化车间灯具。洁净室中的温湿度控制。洁净空间的温湿度主要是根据工艺要求来确定,净化车间装修,但在满足工艺要求的条件下,应考虑到人的舒适度感。随着空气洁净度要求的提高,出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。
10级:主要用于带宽小于2微米的半导体工业。其空气净化要求仅次于1级,并且我国半导体技术也在发展之中,在未来对洁净度的要求高。1000级一般只对尘埃浓度做要求,用于光学器件,仪器等高精仪器等10000级,用于液压设备的生产,和一些食品饮料的生产。100000级,这个级别比较的低,对净化度要求不是---,主要在印刷厂,包装厂等。具体工艺对温度的要求以后还要列举,但作为总的原则看,由于加工精度越来越精细,所以对温度波动范围的要求越来越小。例如在---集成电路生产的光刻---工艺中,作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。
1000级一般只对尘埃浓度做要求,用于光学器件,仪器等高精仪器等10000级,用于液压设备的生产,和一些食品饮料的生产。100000级,这个级别比较的低,对净化度要求不是---,蚌埠净化车间,主要在印刷厂,包装厂等。相对湿度越高,粘附的难去掉,但当相对湿度低于30%时,万级净化车间装修,又由于静电力的作用使粒子也容易吸附于表面,同时大量半导体器件容易发生击穿。对于硅片生产温度范围为35—45%。布置工艺的流程尽可能短,减少交叉往复,、物流走向合理。要配备人员净化室、物料净化室,除配备产品工序要求的用室外,还应配备洁具室、洗衣间、暂存室等,10万级净化车间,每间用室相互独立,净化工程的面积应在---基本要求前提下,与生产规模相适应。
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