相对湿度越高,粘附的难去掉,但当相对湿度低于30%时,又由于静电力的作用使粒子也容易吸附于表面,同时大量半导体器件容易发生击穿。对于硅片生产温度范围为35—45%。洁净室中的温湿度控制。洁净空间的温湿度主要是根据工艺要求来确定,但在满足工艺要求的条件下,应考虑到人的舒适度感。随着空气洁净度要求的提高,出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。
排风系统有一般排风系统、有机气体排风系统、酸性气体排风系统、碱性气体排风系统等,净化车间设计时,食品净化工程,要根据实际情况选择。净化工程的等级划分比较的严格,一般按照7个等级进行的划分,分别是1级,10级,100级,1000级,10000级,100000,1000000级,车间净化工程,净化安全要求是根据等级来实施的,无尘净化工程,净化工程等级数越小,级别是越高的,其含尘量越少,---是---的。在实际施工中,净化项目通常分为分工和分时。这种安排有利于各种工作类型的管理。但是,易于进行多尘和无尘的交叉操作,应尽可能避免这种结构布置。如果不可避免,应该防止灰尘和有效清洁。
100级:是常用的净化工程,除了对空气中的尘埃数有要求,对空气中---的浓度也有明确要求。一般用于行业进行无菌制造,例如制造---用于植入体内的物品,---生产。医学科学实验也在此环境中,包括实验动物饲养环境。1000级一般只对尘埃浓度做要求,用于光学器件,仪器等高精仪器等10000级,淮南净化工程,用于液压设备的生产,和一些食品饮料的生产。100000级,这个级别比较的低,对净化度要求不是---,主要在印刷厂,包装厂等。净化工程的一般施工程序:粉尘作业,无尘作业后,不允许交叉作业。否则会影响项目的。也就是说,在完成所有粉尘产生操作之后,可以进行无尘操作。
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